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Product Numbers:20202817136
Price:
Product introduction:納米高度測(cè)量?jī)x是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
納米高度測(cè)量?jī)xMTM-3020MA是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動(dòng)測(cè)量
4. 內(nèi)建偏光測(cè)量光學(xué)模塊
5. 高速/無接觸測(cè)量
6. 同軸光/底光測(cè)量
7. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度
納米高度測(cè)量?jī)xMTM-3020MA技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
型號(hào) |
MTM-3020MA |
||||
工作臺(tái) |
金屬臺(tái)尺寸(mm) |
500 x 330 |
|||
玻璃臺(tái)尺寸(mm) |
350 x 250 |
||||
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) |
300 x 200 |
||||
手動(dòng)Z軸行程(mm) |
120 |
||||
自動(dòng)Z軸行程(mm) |
2 |
||||
外形尺寸(mm) |
825 x 660 x 910 |
||||
儀器重量(kg) |
130 |
||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) |
0.5 |
||||
自動(dòng)Z軸分辨力(μm) |
0.1 |
||||
示值誤差(μm) |
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm) |
||||
物鏡放大倍數(shù)誤差 |
包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08% |
||||
落射照明光源 |
可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/p> |
||||
底光照明光源 |
可調(diào)高亮度LED燈源 |
||||
目視系統(tǒng) |
影像系統(tǒng) |
||||
物鏡放大倍數(shù) |
5X、10X、20X、50X |
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 |
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目鏡放大倍數(shù) |
10X雙鏡筒 |
1/2”CCD攝像機(jī) |
|||
視頻總倍率 |
50X ~500X |
142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) |
|||
單層透明膜厚度測(cè)量模組 |
|||||
高精度測(cè)量模式 |
快速測(cè)量模式 |
||||
厚度測(cè)量范圍 |
100nm ~300nm |
300nm ~500nm |
500nm ~3μm |
3μm ~20μm |
|
分辨力 |
5nm |
5nm |
7.5nm |
0.1μm |
|
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