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AK40激光干涉儀

配置方式

 立式、臥式配置
 平面總成，球面總成
 靜態(tài)測(cè)量，相位移調(diào)制測(cè)量

 附件

 標(biāo)準(zhǔn)平面和球面參照鏡
 與ZYGOTM參照鏡相容
 標(biāo)準(zhǔn)衰鏡
 干涉儀支撐/調(diào)整用四腳座
 水平五軸調(diào)整座

IntelliWave TM分析

Windows XP系統(tǒng) 干涉條紋靜態(tài)與相位移調(diào)制分析
 完整的分析工具，包括統(tǒng)計(jì)資料、像差
 繞射分析、影像加工、以及幾何影像轉(zhuǎn)換
 干涉圖轉(zhuǎn)換成光學(xué)（OPD）或表面地圖（surface map）
 自動(dòng)反復(fù)測(cè)量或自動(dòng)化分析功能
 相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件
1  蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得長(zhǎng)度上，測(cè)量高度高點(diǎn)與低點(diǎn)間的距離
2  均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取樣長(zhǎng)度上，距離高度中心線(xiàn)的均方根偏差值
3  三平面檢定方（3-Flat Test ）使用三個(gè)平面參照鏡相互檢測(cè)的測(cè)量方式
4  重復(fù)性（Repeatability）的定義：對(duì)相同的組件進(jìn)行100次量測(cè)，而每組量數(shù)據(jù)是由20個(gè)數(shù)據(jù)平均后取得，100組測(cè)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，定義重復(fù)性即是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)差值。