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產品編號：20202817136
產品價格：
產品簡介：納米高度測量儀是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密
特點：
納米高度測量儀MTM-3020MA是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領域。
特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內建偏光測量光學模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
納米高度測量儀MTM-3020MA技術規(guī)格參數：
型號 |
MTM-3020MA |
||||
工作臺 |
金屬臺尺寸(mm) |
500 x 330 |
|||
玻璃臺尺寸(mm) |
350 x 250 |
||||
X、Y軸運動行程(mm) |
300 x 200 |
||||
手動Z軸行程(mm) |
120 |
||||
自動Z軸行程(mm) |
2 |
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外形尺寸(mm) |
825 x 660 x 910 |
||||
儀器重量(kg) |
130 |
||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) |
0.5 |
||||
自動Z軸分辨力(μm) |
0.1 |
||||
示值誤差(μm) |
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) |
||||
物鏡放大倍數誤差 |
包括畸變在內的放大率誤差≦0.08% |
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落射照明光源 |
可調高亮度鹵素燈 |
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底光照明光源 |
可調高亮度LED燈源 |
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目視系統(tǒng) |
影像系統(tǒng) |
||||
物鏡放大倍數 |
5X、10X、20X、50X |
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 |
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目鏡放大倍數 |
10X雙鏡筒 |
1/2”CCD攝像機 |
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視頻總倍率 |
50X ~500X |
142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) |
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單層透明膜厚度測量模組 |
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高精度測量模式 |
快速測量模式 |
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厚度測量范圍 |
100nm ~300nm |
300nm ~500nm |
500nm ~3μm |
3μm ~20μm |
|
分辨力 |
5nm |
5nm |
7.5nm |
0.1μm |
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